在剛落幕的“Semi-e深圳國際半導(dǎo)體展暨2025集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展”上,深圳市微納運(yùn)控技術(shù)有限公司(以下簡稱微納運(yùn)控)亮相,展示國產(chǎn)伺服驅(qū)動領(lǐng)域硬實力。
據(jù)悉,微納運(yùn)控目前已構(gòu)建出覆蓋多場景需求的產(chǎn)品線。此次展會上,重點(diǎn)展示了支持脈沖、EtherCAT總線和Profinet協(xié)議的通用伺服驅(qū)動器與直驅(qū)伺服等。
其中,VC620驅(qū)控一體機(jī)以“驅(qū)控一體化”,實現(xiàn)開箱即用,無需繁雜安裝與接線。其設(shè)備集成最多六軸伺服驅(qū)動和運(yùn)動控制器,軸與I/O可靈活外擴(kuò),大幅降低部署成本。
在功能拓展上,該產(chǎn)品控制器可選配Codesys控制器或以太網(wǎng)板卡控制器,支持二次開發(fā);同時,其逐步完善激光切割、視覺點(diǎn)膠、機(jī)器人分揀等應(yīng)用方案,特別適用于電子設(shè)備、激光設(shè)備、工業(yè)機(jī)器人等場景。
而作為2021年國內(nèi)首家推出Profinet直線驅(qū)動產(chǎn)品的型號,VS580直驅(qū)伺服支持ABZ、Biss-C、SI等多種編碼器,最高分辨率達(dá)26位,可實現(xiàn)1000點(diǎn)精度補(bǔ)償。
同時,該產(chǎn)品配備電機(jī)向?qū)桨惭b功能與高級增益智能自調(diào)諧,操作便捷性大幅提升。在控制精度上,其支持10um級別微動與1um級別準(zhǔn)靜態(tài)尋相,EtherCAT版本更可實現(xiàn)龍門同步控制,能適配半導(dǎo)體設(shè)備、激光切割、電子設(shè)備、數(shù)控機(jī)床等高端場景。
此外,該產(chǎn)品電流環(huán)刷新周期僅1.6us,帶寬達(dá)3300Hz,定位時間最快至5ms,還支持高頻共振抑制與低頻末端抖動抑制,可適配直線電機(jī)、直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、音圈電機(jī)等多種電機(jī)類型。
V5M防水電機(jī)以高防護(hù)與高功率密度為核心亮點(diǎn),防護(hù)等級達(dá)IP67,可應(yīng)對潮濕、多塵等復(fù)雜工況;功率密度較市場主流產(chǎn)品提高15%,特別適用于數(shù)控機(jī)床、戶外特種作業(yè)設(shè)備等對穩(wěn)定性與耐用性要求較高的場景。
除單款明星產(chǎn)品外,微納運(yùn)控多軸伺服產(chǎn)品亦吸引諸多關(guān)注。該產(chǎn)品在同步控制上,支持任意兩軸同步及雙X雙Y同步,無需額外接線,同步精度最高達(dá)10um。
在位置控制上,搭載二維PSO功能,可實現(xiàn)XY兩維曲線位置比較輸出與實時計算,精度精準(zhǔn)至1um,適配激光切割、半導(dǎo)體設(shè)備等高精度場景。安全與性能層面,該產(chǎn)品集成STO功能,支持短時輸入電壓異常穿越。
“我們是國內(nèi)首家推出國產(chǎn)Profinet直驅(qū)伺服的廠商。”微納運(yùn)控全球運(yùn)營中心負(fù)責(zé)人謝茵瑩表示,目前國內(nèi)規(guī)模領(lǐng)先的半導(dǎo)體薄膜沉積裝備廠商已在引進(jìn)該公司VS600系列四軸及六軸總線型驅(qū)動器。
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